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Hochpräzises Weißlichtinterferometer für die Qualitätssicherung

 
Messprinzip: Weißlicht-Interferometrie

KORAD^3D ist ein kompakter Messkopf dessen Messprinzip auf der Weißlichtinterferometrie beruht. Dabei wird die Weglänge des auf der Objektoberfläche reflektierten oder gestreuten Lichts mit einer Referenzweglänge verglichen. Beim patentierten Messvorgang wird der Messkopf in z-Richtung verfahren und das Objekt abgescannt.

So erhält man ein "Tiefenbild" des Objektes mit einer sehr geringen Messunsicherheit. Es vereinigt die Vorteile bekannter taktiler Sensoren mit den Vorteilen optischer Sensoren: hohe Messgenauigkeit und berührungslose Abtastung mit einer hohen Datenrate.

Informationsblatt zur Weißlichtinterferometrie
 
Technische Details:
- Laterales Messfeld von 2 x 2 mm² bis 50 x 50 mm²
- Laterale Auflösung von 5 µm bis 100 µm
- Longitudinaler Messbereich bis zu 100 mm
- Longitudinale Messunsicherheit:
  - Auf optisch rauen Oberflächen: typischerweise 1 µm (Objektrauigkeit)
  - Auf optisch glatten Oberflächen: bis zu 5 nm
- Messgeschwindigkeit bis zu 100 µm/s (longitudinal)
- Messzeit: Taktraten von < 1,5 sec möglich

 
Messbeispiele

Durch koaxiale Beleuchtung werden Abschattungen vermieden. Tiefliegende Flächen von Bohrlöchern lassen sich dadurch problemlos vermessen. Die Abbildung zeigt ein Beispiel für die Vermessung von verschiedenen kegelförmigen Flächen in einer insgesamt etwa 10 mm tiefen Bohrung. Bei einer ähnlichen Anwendung wurden Kegelflächen in einer 40 mm tiefen Bohrung mit einem Durchmesser von 3 mm vermessen.

Farbcodiertes Höhenbild einer Dichtfläche. Messung zur Ebenheitsprüfung und Schadensdetektion an der Fläche.

3D-Darstellung eines Bump-Arrays: vermessen mit dem KORAD3D MXS13 zur 100%-Inspektion in der Produktion.

3D-Darstellung einer welligen Glasplatte. FLABEG Solarglas GmbH & Co. KG

Gerne führen wir für Sie Testmessungen an Musterteilen durch, um die Einsatzmöglichkeiten von KORAD^3D zu klären. Bei Bedarf können weitere laterale Messfelder und longitudinale Messbereiche realisiert werden. Senden Sie Ihre Anfrage einfach an info@3d-shape.com.